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如何选用贴片晶振监控片(一)

发布时间:2020-01-03

如何选用贴片晶振监控片 随着经济的发展和社会发展水平的提高,真空电镀技术在愈来愈多的领域使用,如何监控淀积的膜厚,目前选用石英晶体振荡监控法和光学膜厚监控法,我司多年来致力于石英晶体振荡监控法的核心部件晶振片研究、生产,并总结了一些工作经验与同仁共同控讨。

贴片晶振.jpg

1.原理石英晶体法监控膜厚,主要是利用了石英晶体的压电效应和质量负荷效应。当晶振片上镀了某种膜层,使晶振片的厚度增加,则晶振片的固有频率会相应的变化。显然晶体的基频越高,控制的灵敏度也越高,但基频过高时,晶体片会做得很薄,很薄的晶体片易碎,一般选用AT切型频率5~10MHz。选用AT切晶体片,其振动频率对质量的变化极为灵敏,但却不敏感于温度的变化,具有精度高、灵敏度好等独特的优势,特别适合于真空薄膜淀积中的膜厚监控。

2. 产品品种现在市场上常用的有两种频点,标称频率分别为5.000MHz、6.000MHz,这两种规格我司早已大批量生产,规格如下表:标称频率5.000MHz6.000MHz外形2.5屈光度平凸面直径(mm)Ф12.37Ф13.98切型AT切谐振频率4.995~5.005MHz5.980~5.988MHz谐振电阻≦20Ω材质Z料Q值≧2x106根据膜厚控制仪的探头设计不同,选用不同的电极形状如:单锚双锚全双锚

3.电极材料贴片晶振的电极对膜厚监控尤为重要,目前市场上提供三种标准电极材料:金、银和合金。用户所镀的材料不同,需选用不同的电极材料产品。

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