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国内企業がリソグラフィ技術を突破

发布时间:2021-10-22

    国内企業はリソグラフィー技術に飛躍的な進歩を遂げ、小型化、高精度、製品開発を推進してきました。
    結晶の硬度と物理化学的性質が安定している場合、その周波数は基本的に温度によって変化せず、結果として生じる内部振動損失も最小限であるため、精密製造に非常に適しています。同時に、従来の機械加工の製造方法とは異なり、改良されたプロセスは大量生産に便利です。小型化を確保しながら、偏差を最小限に抑えることができるため、製品の小型化、低消費電力、高い安定性。高周波の利点。 QMEMS技術を使用した小型製品と従来の機械加工で製造された水晶発振器のフロントエンド技術の違いは次のとおりです。

    1)小型化された製品の切断ステップは、一度に1つの音叉結晶ユニットに切断することではなく、最初に数千のウェーハユニットを収集できる大きなウェーハに切断することです。

    2)音叉ウエハーと電極形成プロセスは両面リソグラフィーを採用し、リソグラフィー、金属蒸着、レーザー周波数変調などの統合処理がウェーハ上で実行され、単一の音叉ユニットのサイズは非常に大きい小さな。

      国内企業はリソグラフィー技術に飛躍的な進歩を遂げました。レーザー周波数変調とリソグラフィー技術に基づいて、水晶振動子製品へのMEMS技術の応用が強化されています。現在、同社は微結晶共振器を製造するコア技術に関する研究結果を得ており、両面フォトリソグラフィーを使用して、3インチウェーハ上に3,000を超える「1610」結晶共振器を組み立てることに成功しています。

      ダウンストリームアプリケーションに牽引されて、水晶発振器市場は持ち直しています。

      水晶発振器の世界的な需要は年々増加しています。

      現在、中国の電子情報産業の国際的地位は着実に向上しています。 「中国の電子情報産業統計年鑑」によると、2018年の中国の電子情報産業の売上高は1兆69027兆元であり、そのうち電子製造業の売上高は10,596億元に達し、輸出額は5,893.1であった。十億元、輸入額は4兆1,898億元。輸出)8億8,933億元。 2018年の世界貿易状況は複雑で、家電市場は弱いものの、中国の電子情報製造業は、構造の調整、変革、アップグレード、および中国の電子情報製造業の主な事業収益を通じて、質の高い開発パスに着手しています。指定サイズを超えると、トレンドに逆らって9.0%増加し続けています。


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